ATOS比例閥或流量/壓力復合控制伺服閥。并且伺服閥的控制參數，如流量增益、流量增益特性、零點等都可以根據控制性能*化原則進行設置。伺服閥自身的診斷信息、關鍵控制參數（包括工作環境參數和伺服閥內部參數）可以及時反饋給主控制器；可以遠距離對伺服閥進行監控、診斷和遙控。在主機調試期間控制工程網版權所有，可以通過總線端口下載或直接由上位機設置伺服閥的控制參數，使伺服閥與控制系統達到*匹配，優化控制性能。而伺服閥控制參數的下載和更新，甚至在主機運轉時也能進行。而在伺服閥與控制系統相匹配的技術應用發展中，嵌入式技術對于伺服閥已經成為現實。按照嵌入式系統應定義為：“嵌入到對像體系中的計算機系統”。“嵌入性”、“性”與“計算機系統”是嵌入式系統的三個基本要素。它是在傳統的伺服閥中嵌入的微處理芯片和相應的控制系統，針對客戶的具體應用要求而構建成具有*控制參數的伺服閥并由閥自身的控制系統完成相應的控制任務（如各控制軸同步控制），再嵌入到整個的大控制系統中去。
ATOS比例閥的可靠性是伺服系統中zui重要的一環。由于伺服閥被污染是導致伺服閥失效的zui主要原因。對此，國外的許多廠家對伺服閥結構作了改進，先后發展出了抗污染性較好的射流管式、偏導射流式伺服閥。而且，俄羅斯還在其研制的射流管式伺服閥閥芯兩端設計了雙冗余位置傳感器，用來檢測閥芯位置。一旦出現故障信號可立即切換備用伺服閥，大大提高了系統的可靠性，此種兩余度技術已廣泛的應用于行業。
ATOS比例閥的主閥一般來說和換向閥一樣是滑閥結構，只不過閥芯的換向不是靠電磁鐵來推動，而是靠前置級閥輸出的液壓力來推動，這一點和電液換向閥比較相似，只不過電液換向閥的前置級閥是電磁換向閥，而伺服閥的前置級閥是動態特性比較好的噴嘴擋板閥或射流管閥。
也就是說，ATOS伺服閥的主閥是靠前置級閥的輸出壓力來控制的，而前置級閥的壓力則來自于伺服閥的入口p，假如p口的壓力不足，前置級閥就不能輸出足夠的壓力來推動主閥芯動作。