瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商

VAT是一家在真空閥門領域處于絕對位置的瑞士公司，VAT自1964年成立以來，在真空閥門技術領域實現了專業化的運作。因其強大的研發創新和業界聞名的高品質，世界各半導體芯片設備、太陽能設備制造廠商、大學和科研機構大量采用了VAT公司的產品，其生產的閥門在真空產生和研究系統中都是業界的標準組件。

VAT閥門主要運用在：半導體加工，玻璃或鍍膜設備，高能物理（科研），同步加速器（科研），激光技術，空間模擬，冶金，表面分析等行業。產品包括：插板閥、蝶閥、傳送閥、隔膜閥、角閥等，是高靈敏度和高可靠性的控制真空閥。

產品服務：

瑞士VAT閥門、閘閥、鐘擺閥、控制閥、角閥、隔膜閥、連接部件、多閥門模塊、加熱器、鍍膜

品牌介紹：

VAT真空閥門公司是一家活躍于市場的瑞士公司，是真空閥門開發、制造和銷售的公司。產品廣泛用于半導體、鍍膜行業和研發、平板顯示器制造，玻璃和工具鍍膜，冶金，表面分析，高能物理學，同步加速器，激光技術和太空旅行模擬等領域。

主要型號：

010系列、012系列、081系列、091系列、108系列、110系列、121系列、140系列、150系列、152系列、162系列、168系列、640系列、641系列、650系列、652系列、022系列、032系列、043系列、075系列、076系列、066系列、211系列、214系列、216系列、245系列、264系列、471系列、773系列、790系列、790系列

瑞上VAT部分產品介紹

1.VAT閘閥

具有模塊化執行機構概念的VAT緊湊型迷你超高壓閘閥非常適合I業和研發應用。它通常用于半導體工藝系統的管道中。插入版本

以集成到真空系統中(無閥體)，更高的密封材料(Chemraz, EPDM等)， 帶有VITON制成的密封件，可更換，特殊的閥門澆口，適

合安裝各種孔板。

2.VAT蝶閥

VAT蝶閥是下游應用的蝶形壓力控制閥。帶有非常快速且堅固的執行器，高性能，集成控制器，具備極短的控制響應時間和位置指I

示，自動維護指示，出色的抗污染能力。該閥"的控制器可確保非常快速和準確的壓力控制。通過操作L EARN功能，在啟動時只

需要執行一次，即可自動確定系統參數。由于采用了自適應算法，因此控制器可以連續適應過程條件(氣體種類，氣體流量)，從而

確保隨時進行最佳壓力控制。

B.VAT轉換閥

VAT轉換閥用于200.300和450毫米晶圓的半導體生產系統中的負載鎖定和處理室隔離。雙作用氣動執行器，主體材質為鋁，不銹

鋼，波紋管受保護，使用壽命長，大于500萬次循環的預期壽命，公稱內徑32x222到56x496毫米。

4.VAT角閥

VAT角閥適用于大多數腐蝕性氣體，除氣率極低。當排氣速率極低時，對于特高壓系統的泵送和排氣很重要。耐高壓差，固定式可

旋轉CF法蘭，在最高溫度80°C下可以進行300萬次循環，主體材質不銹鋼，執行器類型分為手動執行器(手輪)，氣動執行器(單閉

孔，帶有閉合彈簧NC)。

5.VAT軟啟動閥

VAT軟啟動閥由兩半節流閥瓣組成，它們支撐在一條公共軸 上，并通過彈簧保持在打開位置。軸保持在ISO KF對中環中，該對中環

形成為帶有閥座的主體。將它們安裝在兩個SO-KF法蘭(而不是定心環之間時，必須將打開的閥對準真空管路中的氣流。當粗加

工系統投入運行時，在粗加工管線中會產生強氣流，該氣流會立即關閉閥門，并使管段減少約99%。當達到約2%的壓差時，在

15mbar時，閥]打開并幾乎毫5阻礙地離開管道，以進行進步泵送。

瑞士VAT真空閘板閥在中國的合作供貨商